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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH06123746(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920273015 申请日期 1992.10.12
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 WADA EIZO
分类号 G01R1/073;G01R19/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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