发明名称 MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SILICON FILM
摘要
申请公布号 JPH0697070(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920243274 申请日期 1992.09.11
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SANO KEIICHI
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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