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发明名称 TWO-WAVELENGTH DISPLACEMENT INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH0694411(A) 申请公布日期 1994.04.05
申请号 JP19920244636 申请日期 1992.09.14
申请人 NIKON CORP 发明人 KOGO ATSUSHI;UCHIKAWA KIYOSHI;ISHIDA AKIRA
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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