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发明名称
SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0649635(A)
申请公布日期
1994.02.22
申请号
JP19920202819
申请日期
1992.07.30
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
YOSHIMURA JUNICHI
分类号
C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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