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发明名称 PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0645302(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920217462 申请日期 1992.07.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 TATEYAMA KIYOHISA;TATEYAMA MASANORI;TAKAMORI HIDEYUKI
分类号 B08B1/04;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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