| 发明名称 |
SILICON WAFER FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURE OF THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0645301(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
| 申请号 |
JP19920195141 |
申请日期 |
1992.07.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
URUSHIBARA MARIKO;AKAMATSU KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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