| 发明名称 |
MINUTE DEFECT INSPECTOR FOR FINE LINE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0634572(A) |
申请公布日期 |
1994.02.08 |
| 申请号 |
JP19920186744 |
申请日期 |
1992.07.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
IMADA YUKIO;SUMI KOHEI |
| 分类号 |
G01N21/47;G01N21/89;G01N21/892;H04N7/18;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01N21/47 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
