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发明名称 MANUFACTURING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0629399(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920181402 申请日期 1992.07.09
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 IKEDA NAOKI
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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