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经营范围
发明名称
ROTATIONAL COATER
摘要
申请公布号
JPH0613305(A)
申请公布日期
1994.01.21
申请号
JP19920193462
申请日期
1992.06.26
申请人
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TAZAKI YOSHIHIDE
分类号
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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