| 发明名称 |
ETCHING SOLUTION COMPOSITION FOR THIN AL-SI FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0610161(A) |
申请公布日期 |
1994.01.18 |
| 申请号 |
JP19920193299 |
申请日期 |
1992.06.25 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
IWASAKI KATSUO;KURODA HIROSHI;TAMURA TATSUHIKO |
| 分类号 |
C23F1/20;C23F1/24;H01L21/308;(IPC1-7):C23F1/24 |
主分类号 |
C23F1/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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