| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PLANARLEITERBAHN DURCH ISOTROPES ABSCHEIDEN VON LEITENDEM WERKSTOFF. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT98814(T) |
申请公布日期 |
1994.01.15 |
| 申请号 |
AT19870201755T |
申请日期 |
1987.09.14 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
BROADBENT, ELIOT KENT 6 |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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