发明名称 Laserinterferometrische Meßanordnung für mehrere Meßstellen
摘要
申请公布号 DE4221851(A1) 申请公布日期 1994.01.05
申请号 DE19924221851 申请日期 1992.07.03
申请人 JENOPTIK GMBH, O-6900 JENA, DE 发明人 ROTHHARDT, MANFRED, O-6900 JENA, DE;SEIDE, WOLFGANG, O-6900 JENA, DE;SANDER, HENDRIK, O-6902 JENA, DE
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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