在制品上形成保护层的化学气相沉积方法

摘要

一种可以用本发明的方法来形成的优良的塑料制品。该制品用一硬质碳膜涂复，其特征是重量轻、耐磨性高的外表美观。

主权项

1.一种涂覆机械零件的方法，所述零件具有(a)平坦表面和(b)耐磨拐角，所说方法包括下列步骤：在一反应室中沉积所说部件；将一反应气体输入所说反应室；通过将电磁能量供给所说反应气体以在所说反应室中激励所说反应气体；以及在所说零件上沉积一涂敷层，所说方法的特征在于，所说反应气体包括(a)碳和任选(i)氮或(ii)氮和硼或(b)硼和氮，所说电磁能量使电场容易在拐角处集中，以便拐角处的涂敷层厚于平坦表面的涂敷层，其中所说电磁能量是一有直流偏压的射频能量或一微波能量。