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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05343536(A)
申请公布日期
1993.12.24
申请号
JP19920147654
申请日期
1992.06.08
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
SAIDA SHUICHI
分类号
H01L21/288;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
地址
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