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发明名称 TEMPERATURE MEASURING DEVICE AND TEMPERATURE MEASURING METHOD USING SAME
摘要
申请公布号 JPH05335284(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920170230 申请日期 1992.06.03
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO YUKIYASU
分类号 G01K5/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 G01K5/32
代理机构 代理人
主权项
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