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发明名称 INSPECTING DEVICE FOR ACTIVE MATRAIX SUBSTRATE OF LIQUID CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05313132(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920118679 申请日期 1992.05.12
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 HAYASHI MASAKI
分类号 G02F1/133;G02F1/1343;G09G3/36;(IPC1-7):G02F1/133;G02F1/134 主分类号 G02F1/133
代理机构 代理人
主权项
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