发明名称 LSI LAYOUT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05315450(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920118652 申请日期 1992.05.12
申请人 NEC CORP 发明人 MORI KUNIO
分类号 H01L21/82;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/90 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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