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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05306477(A) 申请公布日期 1993.11.19
申请号 JP19920136064 申请日期 1992.04.28
申请人 SHINKO ELECTRIC IND CO LTD 发明人 WATARI EISAKU;KINAMI JUNICHI
分类号 C23F1/00;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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