| 发明名称 |
Semiconductor wafer temperature determination by optical measurement of wafer expansion in processing apparatus chamber |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU3945993(A) |
申请公布日期 |
1993.11.18 |
| 申请号 |
AU19930039459 |
申请日期 |
1993.04.05 |
| 申请人 |
MATERIALS RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
HIROICHI ISHIKAWA;MICHAEL STEVEN KOLESA |
| 分类号 |
G01K5/52;G01J5/00;G01J5/04;G01J5/08;G01N25/16;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G01K5/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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