发明名称
摘要
申请公布号 JPH0581057(B2) 申请公布日期 1993.11.11
申请号 JP19860082649 申请日期 1986.04.10
申请人 HITACHI ELECTR ENG 发明人 NEMOTO RYOJI;YANAI TOSHIAKI
分类号 H01L21/683;B23Q3/08;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;H01L21/68;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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