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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH05295522(A)
申请公布日期
1993.11.09
申请号
JP19920124187
申请日期
1992.04.17
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
SUGIYAMA KENJI;SASAKI JUN
分类号
C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/22
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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