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发明名称 PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05291190(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920087355 申请日期 1992.04.08
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ARAKI YOICHI;HATA JIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/268;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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