发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05275373(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920067265 申请日期 1992.03.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/288;H01L21/312;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/288;H01L21/90;H01L29/50 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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