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发明名称 Process to operate a secondary ion mass spectrometer.
摘要
申请公布号 EP0350815(B1) 申请公布日期 1993.10.20
申请号 EP19890112494 申请日期 1989.07.07
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 VON CRIEGERN, ROLF, DIPL.-PHYS.
分类号 H01J37/256;H01J49/04;(IPC1-7):H01J37/256;G01N23/225 主分类号 H01J37/256
代理机构 代理人
主权项
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