发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH05267167(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920062526 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 C30B23/08;C30B25/02;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/40;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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