发明名称 MICROMECHANICAL COMPRESSOR CASCADE AND METHOD OF INCREASING THE PRESSURE AT EXTREMELY LOW OPERATING PRESSURE
摘要
申请公布号 EP0412270(B1) 申请公布日期 1993.10.06
申请号 EP19900111971 申请日期 1990.06.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BLUM, ARNOLD, DIPL.-ING.;PERSKE, MANFRED;SCHMIDT, MANFRED, DIPL.-PHYS.
分类号 F04B43/04;F04B45/04;F04B45/047 主分类号 F04B43/04
代理机构 代理人
主权项
地址