发明名称 FIXING METHOD OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05251579(A) 申请公布日期 1993.09.28
申请号 JP19920046486 申请日期 1992.03.04
申请人 NEC TOHOKU LTD 发明人 HAYASHI MITSUAKI
分类号 H01L23/02;H05K7/14;(IPC1-7):H01L23/02 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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