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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05243545(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19920044304 申请日期 1992.03.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 KONDO MASAO;USAMI MITSUO
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H01L27/14;H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):H01L27/14;H01S3/18 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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