SYSTEM AND METHOD FOR ACCURATELY DEPOSITING PARTICLES ON A SURFACE

摘要

L'invention concerne un système de déposition de particules comportant un atomiseur (11), un transporteur de pastilles (39), un moyen d'écoulement gainé, un compteur de particules et un système de gestion par ordinateur, prévu pour déposer avec précision une densité désirée de particules (13) sur une surface. L'écoulement gainé (35) maintient un article (19) propre lorsque le flux de particules dans la chambre de déposition (15) s'élève de zéro à un état d'équilibre. Le compteur de particules mesure le flux de particules par prélèvement d'un échantillon d'atmosphère dans la chambre de déposition (15). L'ordinateur (47) détermine si la vitesse de variation du flux de particules est bien à zéro et actionne ensuite le transport de l'article (19) complètement ou partiellement hors de l'écoulement gainé (35) pour le diriger dans le brouillard des particules tombantes (13). L'ordinateur (47) calcule également le temps de déposition nécessaire pour déposer sur la surface de l'article une densité de particules désirée, pour déclencher le retour de l'article (19) dans l'écoulement gainé (35) après avoir atteint la densité désirée.