| 发明名称 |
INSPECTING METHOD AND APPARATUS OF APPEARANCE OF MICRO OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05223534(A) |
申请公布日期 |
1993.08.31 |
| 申请号 |
JP19920026683 |
申请日期 |
1992.02.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIRAI YUKINOBU;SUZUKI NOBUO;YUSA YUKIE;FURUYA IZUMI;TAKEI FUMITO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G11B5/455 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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