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发明名称
LASER-TYPE HEIGHT MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05215524(A)
申请公布日期
1993.08.24
申请号
JP19910325854
申请日期
1991.12.10
申请人
NEC CORP
发明人
MAEDA TAKEHIKO
分类号
G01B11/14;G01B11/24;G01C3/06;H01L21/66
主分类号
G01B11/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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