| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR SPUTTERING SUPERCONDUCTIVE THIN FILM OF NIOBIUM TO 1/4 WAVELENGTH RESONANCE CAVITY MADE OF COPPER FOR HEAVY ION ACCELERATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05202465(A) |
申请公布日期 |
1993.08.10 |
| 申请号 |
JP19920233086 |
申请日期 |
1992.08.07 |
| 申请人 |
IST NAZI D FUISHIIKA NUCLEAR-LES |
发明人 |
BUINCHIENZO PARUMIERI;RENAATO PURECHIIZO;URADEIMIIRU ERU RUTSUINOFU |
| 分类号 |
C23C14/16;C23C14/34;C23C14/38;H01L39/24;H05H7/20 |
主分类号 |
C23C14/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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