发明名称 |
DISPOSITIF DE MESURE POUR LA DETERMINATION DE LA POSITION D'UN OBJET |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2596161(B1) |
申请公布日期 |
1989.07.13 |
申请号 |
FR19870002590 |
申请日期 |
1987.02.26 |
申请人 |
MESSERSCHMITT BOLKOW BLOHM GMBH |
发明人 |
REINHOLD LUTZ |
分类号 |
H01L31/16;G01B11/00;G01S5/16;(IPC1-7):G01S1/70;G05D3/14 |
主分类号 |
H01L31/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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