发明名称 DISPOSITIF DE MESURE POUR LA DETERMINATION DE LA POSITION D'UN OBJET
摘要
申请公布号 FR2596161(B1) 申请公布日期 1989.07.13
申请号 FR19870002590 申请日期 1987.02.26
申请人 MESSERSCHMITT BOLKOW BLOHM GMBH 发明人 REINHOLD LUTZ
分类号 H01L31/16;G01B11/00;G01S5/16;(IPC1-7):G01S1/70;G05D3/14 主分类号 H01L31/16
代理机构 代理人
主权项
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