发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190133(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920004809 申请日期 1992.01.14
申请人 NEC CORP 发明人 HOSOKAWA KAZUNORI
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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