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发明名称
摘要
申请公布号 JPH05504867(A) 申请公布日期 1993.07.22
申请号 JP19900515852 申请日期 1990.10.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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