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发明名称
APPARATUS FOR AND METHOD OF EVALUATING MULTILAYER THIN FILM
摘要
申请公布号
US5227861(A)
申请公布日期
1993.07.13
申请号
US19900587114
申请日期
1990.09.24
申请人
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA;JASCO CORPORATION
发明人
NISHIZAWA, SEIZI;FUKAZAWA, RYOICHI;TAKAHASHI, TOKUZI;HATTORI, RYO
分类号
G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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