发明名称 CHARGED BEAM IMAGE-DRAWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05174774(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910344702 申请日期 1991.12.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUSAKABE HIDEO
分类号 H01J37/305;H01L21/265 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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