| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING ETCHED AMOUNT OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05175166(A) |
申请公布日期 |
1993.07.13 |
| 申请号 |
JP19910343708 |
申请日期 |
1991.12.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
OJI MASATAKA |
| 分类号 |
G01B7/06;G01N27/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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