发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05167082(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910332048 申请日期 1991.12.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YONEMOTO GO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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