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发明名称 ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITIONS FOR PHOTORESIST COMPOSITIONS AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP0978016(A1) 申请公布日期 2000.02.09
申请号 EP19980922750 申请日期 1998.04.21
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 DING, SHUJI;LU, PING-HUNG;KHANNA, DINESH, N.;SHAN, JIANHUI;DURHAM, DANA, L.;DAMMEL, RALPH, R.;RAHMAN, M., DALIL
分类号 G03F7/11;C08F8/30;C08F212/14;C08L25/18;C09B69/10;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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