发明名称 FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05160026(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910341708 申请日期 1991.12.02
申请人 HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 ORITSUKI RYOJI;TORITSUKA TAKEMI;AOKI DAIYA;MURAMATSU FUMIO;TAKEDA TOMOHIKO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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