| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR AIDING OPTICAL INTERNAL INSPECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05157701(A) |
申请公布日期 |
1993.06.25 |
| 申请号 |
JP19920024852 |
申请日期 |
1992.01.14 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYON SAMIYUERU BATSUTOCHIERUDAA;FUIRITSUPU CHIYAARUUZU DANBII HOTSUBUZU;MATSUKU ARAN TAUBENBURATSUTO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01J3/42;G01J3/44;G01J9/02;G01N21/35;G01N21/95;G01N21/956;G01Q30/02;G02B3/00;G02B21/00;G02B27/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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