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摘要
申请公布号
JPH0541699(B2)
申请公布日期
1993.06.24
申请号
JP19870051605
申请日期
1987.03.06
申请人
FUJI SEIKI KK
发明人
NOMA TAKA;FUJASU HIROSHI
分类号
C23C14/24;C23C14/26;(IPC1-7):C23C14/26
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
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