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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05152331(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910339432 申请日期 1991.11.29
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 SHIMOMAKI SHINICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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