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发明名称
ROBOT FOR HANDLING WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号
JPH05146984(A)
申请公布日期
1993.06.15
申请号
JP19910192784
申请日期
1991.07.08
申请人
MURATA MACH LTD
发明人
SHIAKU HOTSU
分类号
B25J9/06;B25J15/08;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
B25J9/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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