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发明名称 PARTICLE-COUNTER
摘要
申请公布号 JPH05136244(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910326458 申请日期 1991.11.14
申请人 NEC CORP 发明人 MORITA MAKOTO
分类号 G01N15/14;H01L21/02;H01L21/66 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
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