| 摘要 |
<p>Zur Kontrolle des Inhaltes von Bildern, insbesondere von Masken bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen werden ein Verfahren und eine Anordnung angegeben, bei dem im Verlauf eines Vergleichs ein Realbild und ein Idealbild, die beide in nach Spalten und Zeilen angeordnete Bildelemente zerlegt sind, in x- und y-Koordinaten abgetastet werden. Auf diese Weise entstehen ein x- und ein y-Kantenbild, die in y- bzw. x-Richtung durchmustert zu x/y- und y/x-Kantenbildern werden. Durch Differenzbildung zwischen den y/x- und x/y-Kantenbildern des Real- bzw. Idealbildes entstehen ein Real- und ein Idealdifferenzbild. Aus dem Vergleich des Realdifferenzbildes mit dem Idealdifferenzbild wird ein Realvergleichsbild hergestellt. Schließlich wird das Idealdifferenzbild für sich durchmustert und ein Defektbild erzeugt, das die Entscheidung über die Weiterverwendung des Realbildes ermöglicht.</p> |
