| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PLANARIZATION PROCESS AND PRODUCT MADE THEREBY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0536992(A3) |
申请公布日期 |
1993.05.26 |
| 申请号 |
EP19920309133 |
申请日期 |
1992.10.07 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. |
发明人 |
HUANG, KUEI-WU |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
