| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05129215(A) |
申请公布日期 |
1993.05.25 |
| 申请号 |
JP19910287742 |
申请日期 |
1991.11.01 |
| 申请人 |
NIPPON PRECISION CIRCUITS KK |
发明人 |
KUNIYOSHI KATSUYA;KANEHACHI KAORU |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/331;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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