METHOD OF MAKING SILICON OXIDE FILM FOR SURFACE STABILIZATION,申请号JP19910319799-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF MAKING SILICON OXIDE FILM FOR SURFACE STABILIZATION
摘要
申请公布号	JPH05129279(A)	申请公布日期	1993.05.25
申请号	JP19910319799	申请日期	1991.11.07
申请人	MITSUBISHI MATERIALS CORP	发明人	SHIOTA TAKAAKI;SHINGYOUCHI TAKAYUKI
分类号	H01L21/316	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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